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    午夜视频在线免费標簽廠蝕刻洗鋁午夜视频在线免费技術可減少蝕刻腔體內含鋁顆粒物的含量,使得幹蝕刻製程中顆粒物掉落於待蝕刻膜層上的概率減少,解決了線路蝕刻殘留和短路的問題,提高產品良率。

    蝕刻洗鋁午夜视频在线免费步驟1:午夜视频在线免费標簽廠提供一鋁膜基板,所述鋁膜基板包括襯底基板及設於所述襯底基板上的鋁膜,在所述鋁膜上塗布光阻層,采用光罩對光阻層進行曝光顯影後形成光阻層圖形;

    蝕刻洗鋁午夜视频在线免费步驟2:午夜视频在线免费標簽廠提供一幹蝕刻設備,所述幹蝕刻設備具有蝕刻腔體,將帶有光阻層圖形的鋁膜基板放入所述蝕刻腔體中,向所述蝕刻腔體內通入含氯氣體,對鋁膜基板進行蝕刻,所述含氯氣體對鋁膜上未被光阻層圖形覆蓋的部分進行蝕刻,得到設計圖案,在蝕刻過程中,控製所述蝕刻腔體內的溫度與壓力,使含氯氣體與鋁膜反應生成的氯化鋁保持氣體狀態,減少氯化鋁顆粒的生成;

    蝕刻洗鋁午夜视频在线免费步驟3:采用抽氣設備抽出所述蝕刻腔體內的大部分氣體,通入含氟氣體,通電解離後,含氟氣體的等離子體與蝕刻腔體內殘留的氯化鋁發生反應,含氟氣體中的氟元素與氯化鋁中的氯元素進行置換,生成氟化鋁。


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